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擴散泵主要泵體、擴散噴嘴、蒸汽導管、油鍋、加熱器、擴散器、冷卻系統和噴射噴嘴等部分組成(見圖)。當油擴散泵用前級泵預抽到低于1帕真空時,油鍋可開始加熱,沸騰時噴嘴噴出高速的蒸汽流,熱運動的氣體分子擴散到蒸汽流中,與定向運動的油蒸汽分子碰撞,氣體分子因此而獲得動力量,產生和油蒸汽分子運動方向相同的定向流動,到前級,油蒸汽被冷凝,釋出氣體分子,即被前級泵抽走而達到抽氣目的。泵油的蒸氣壓直接影響泵的真空性能,但油擴散泵所使用的任何泵油,都是蒸汽壓不同的多組分的混合物。因此,要提高油擴散泵的抽氣和真空性能,泵在工作中自身還要對泵油進行分餾和凈化。分餾目的是使高蒸汽壓組分的油不進入高真空工作噴嘴(高真空端的噴嘴);凈化的是使高蒸汽壓組分的油在工作過程中不斷為前級泵所抽除、使油逐漸于純凈。

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